μVOC-CAM型洁净室气态分子污染物监测仪--北京金恒祥仪器有限公司

•全自动在线质量监控系统

• 探测VOC含量

• 对污染物进行定性和形态分析

• 探测水平可达ppb以下

• 集成PC，支持数据处理

• 有机化合物探测水平可达ppb水平

• 采样点可多达16个

气态分子污染物（AMC）是高科技制造行业非常关心的一个问题，特别是微电子行业。有机污染物会对生产工具产生不利的影响，最终导致额外的花费。

无污染的生产环境不只是空想，是可以付诸实践的，但是需要对原材料和制造进程中的空气过滤装置进行严格的控制。永久的空气分子污染物监测可以帮助稳定生产，增加过滤装置的使用寿命。

通过μVOC-CAM监测仪，用户可以长时间在线监测气态分子污染物的含量，而不需要像使用采样器那样只在某一个时间点进行测量。测量精度水平可达ppb水平以下。

探测精度水平持续保持在ppb以下：

丁酮，三甲基硅烷，丙酮，乙醇，异丙醇，环己烷，乳酸乙酯，正己烷，乙苯，丁醇，醋酸乙酯，二甲苯，苯乙烯，苯，甲苯，六甲基二硅烷，丙二醇甲醚醋酸酯及其他组分。

运行原理：

长久以来，气象色谱就是测量和分离复杂分子化合物的主要选择。气象色谱法取决于样品的蒸发性以及色谱柱对不同组分的吸收能力。

组分被色谱柱洗脱后，由火焰离子检测器（FID）对其电导性进行监测，从而得到组分的含量。独特的吹扫和采样系统使探测水平可达ppb以下水平。

规格参数：

测量原理：火焰电离气相色谱法

尺寸（H×W×D）：160cmx60cmx80cm

外壳：NEMA 12或IP54有不锈钢

操作温度：10℃~ 35℃

通讯：RS-232, 以太网, ODBC

气体要求：CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可选择 H2发生器）

采样通道：多达16通道

分辨率：0.1 ppb

探测组分：可多达30种，用户自定义

测量范围：0-200 ppb